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題名 | 廢光阻回收再利用技術介紹=Introduction to Waste Photoresist Recycling and Reusing Technology |
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作者 | 吳清茂; 林思吟; 林玉琴; 黃耀正; | 書刊名 | 工業材料 |
卷期 | 430 2022.10[民111.10] |
頁次 | 頁129-136 |
分類號 | 445.97 |
關鍵詞 | 光阻; 碳化; 活性碳; Photo resist; Carbonization; Activated carbon; |
語文 | 中文(Chinese) |