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來源資料
管理資訊計算
11:特刊2 2022.08[民111.08]
頁138-148
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題名
應用FMEA於晶圓切割機維修之研究=The Application of Failure Mode and Effects Analysis in Wafer Dicing Machine Maintenance
作者姓名(中文)
曾文宏
;
邱清爐
;
林高正
;
書刊名
管理資訊計算
卷期
11:特刊2 2022.08[民111.08]
頁次
頁138-148
分類號
446.8406
關鍵詞
晶圓切割機
;
設備維修
;
FMEA
;
Wafer dicing machine
;
Equipment maintenance
;
語文
中文(Chinese)
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