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題 名 | 半導體先進材料超痕量不純物及奈米粒子分析技術=Semiconductor Advanced Materials Ultratrace Impurities and Nanoparticle Analysis Technology |
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作 者 | 蘇秋琿; 許家晴; 陳春華; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 422 2022.02[民111.02] |
頁 次 | 頁52-60 |
專 輯 | 高階半導體檢測技術專題 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 超痕量金屬不純物; 金屬奈米顆粒; 單微粒感應耦合電漿質譜儀; Ultratrace metal impurities; Metallic nanoparticles; Single particle ICP-MS; spICP-MS; |
語 文 | 中文(Chinese) |