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題名 | 大氣電漿精密鏡面拋光檢測技術=Optical Interference Measurement Technology for Characterizing Lens Surface after Plasma Polishing |
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作 者 | 張奕威; 陳俊賢; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 463 2021.10[民110.10] |
頁次 | 頁63-70 |
專輯 | 數位製造與檢測技術專輯 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 光干涉量測技術; 電漿拋光技術; 三維形貌量測技術; Optical interference measurement technology; Plasma polishing technology; Three-dimensional shape measurement technology; |
語文 | 中文(Chinese) |