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| 題 名 | 微電子純銅表面氧化層整合分析之研究=Electrochemical and Optical Analyses of the Surface Oxide Layer on Copper in Microelectronics |
|---|---|
| 作 者 | 黃薇禎; 宋振銘; | 書刊名 | 防蝕工程 |
| 卷 期 | 32:3 2018.09[民107.09] |
| 頁 次 | 頁8-15 |
| 分類號 | 472.6 |
| 關鍵詞 | 電化學還原; 陰極還原; 銅氧化層; Coulometric reduction method; Cathodic reduction method; Cathodic stripping; Surface oxide layer; Cuprous; Cupric; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |