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題名 | 回收碳化矽之創新應用=Innovative Application of Recycling Silicon Carbide |
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作者 | 李英杰; 潘敬儒; 崔芙潔; | 書刊名 | 臺灣鑛業 |
卷期 | 73:1 2021.03[民110.03] |
頁次 | 頁25-33 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 回收碳化矽; SiC/ZrO₂複合陶瓷; 燒結基板; 電漿噴塗; Recycling Silicon carbide; SiC/Y-ZrO₂ composite ceramic substrate; High temperature sintering carrier substrate; Air plasma system; |
語文 | 中文(Chinese) |