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題名 | 氦離子束檢測技術簡介及其於高深寬比結構鍍膜製程研發之應用=Introduction of Helium Ion Microscopy and Its Application in Developing Deposition Process for High Aspect Ratio Structures |
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作者姓名(中文) | 李建霖; 王亘黼; 蔡坤諭; 錢盛偉; 蔡佳勳; 董福慶; 王慶鈞; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 459 2021.06[民110.06] |
頁次 | 頁38-45 |
專輯 | 半導體光電與產業設備技術專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 氦離子束顯微術; 高深寬比結構; 鍍膜; Helium ion microscopy; High aspect ratio structures; Deposition; |
語文 | 中文(Chinese) |