查詢結果分析
來源資料
頁籤選單縮合
題名 | 淺談半導體內連接導線可靠度工程技術=Reliability Engineering for Back-end-of-line Interconnects of Integrated Circuits |
---|---|
作者 | 鄭義榮; 李志延; 彭維凡; Cheng, Yi-lung; Lee, Chih-yen; Peg, Wei-fan; |
期刊 | 真空科技 |
出版日期 | 20200300 |
卷期 | 33:1 2020.03[民109.03] |
頁次 | 頁24-39 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 半導體; 內連接導線; 積體電路; 電致遷移; 時相依性介電崩潰; |