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來源資料
科儀新知
222 2020.03[民109.03]
頁48-62
電機工程
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電燈之特殊應用
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匯出書目
題 名
封閉式高能磁控濺鍍系統鍍製透明硬膜之技術開發=Transparent Hard Coating Deposited by Closed Field Magnetron Sputtering with High-power Impulse Source
作 者
廖博輝
;
蕭健男
;
蕭銘華
;
林郁洧
;
陳昇暉
;
書刊名
科儀新知
卷 期
222 2020.03[民109.03]
頁 次
頁48-62
專 輯
薄膜材料應用與發展
分類號
448.59
關鍵詞
封閉式磁控濺鍍系統
;
光學硬膜
;
電漿
;
語 文
中文(Chinese)
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