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題名 | 應用雷射誘導背面濕式刻蝕技術於具透光性之基材=Application of Laser-Induced Backside Wet Etching to Transparent Substrates |
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作者姓名(中文) | 顏孟華; | 書刊名 | 真空科技 |
卷期 | 32:3 2019.09[民108.09] |
頁次 | 頁31-38 |
分類號 | 472.17 |
關鍵詞 | 雷射誘導背面濕式刻蝕; 透光性基材; 高深寬比結構; Laser-induced backside wet etching; Transparent substrates; High aspect ratio structure; |
語文 | 中文(Chinese) |