頁籤選單縮合
題名 | 多模式薄膜沉積製程設備模組技術於OLED照明之應用=Multi-mode Thin Film Deposition Technology for the Application of OLED Lighting Devices |
---|---|
作者 | 賴識翔; 董福慶; 林義鈞; 鄭皓蓬; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 435 2019.06[民108.06] |
頁次 | 頁33-40 |
專輯 | 光電產業設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 有機發光二極體; 薄膜封裝; 原子層沉積; Organic light-emitting diode; OLED; Thin film encapsulation; Atomic layer deposition; ALD; |
語文 | 中文(Chinese) |