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題 名 | 量測機臺幾何誤差之六軸雷射干涉儀=Six-Degree-of-Freedom Interferometer for Detecting Geometric Errors of Precision Stages |
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作 者 | 林世聰; 馬兆廷; 陳世剛; 陳昭元; 黃泓諭; 廖述政; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 428 2018.11[民107.11] |
頁 次 | 頁60-65 |
專 輯 | 智慧工廠技術專輯 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 差頻干涉儀; 精密位移平臺; 六自由度; 幾何誤差; Heterodyne interferometer; Precision stage; Six-degree-of-freedom; Geometric error; |
語 文 | 中文(Chinese) |