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題名 | 熱處理對有機金屬化學氣相沉積成長鎵摻雜之氧化鋅薄膜特性影響之研究=Effect of Rapid Thermal Annealing Process on the Properties of Ga-doped ZnO Films Grown by MOCVD |
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作者 | 黃瓊儀; 歐信良; 洪瑞華; Huang, Chiung-yi; Ou, Sin-liang; Horng, Ray Hua; |
期刊 | 科儀新知 |
出版日期 | 20170300 |
卷期 | 210 2017.03[民106.03] |
頁次 | 頁88-96 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 成長鎵摻雜; 氧化鋅薄膜; 有機金屬化學氣相沉積; 熱處理; |