題 名 |
連續生產型超高頻電漿增強式鍍膜設備設計及其性能探討=Design and Performance of Continuous Production Type VHF Plasma Enhanced Coating Equipment
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作 者 |
黃俊凱;
葉昌鑫;
翁敏航;
蔡潔娃;
張慎周;
吳春森;
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書刊名 |
科儀新知 |
卷 期 |
210 2017.03[民106.03]
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頁 次 |
頁68-79 |
專 輯 |
真空技術專題
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分類號 |
448.5 |
關鍵詞 |
連續生產型;
增強式鍍膜;
超高頻電漿;
超高頻;
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語 文 |
中文(Chinese) |