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題名 | 高效能平行曝光機光源開發=The Development of High-performance Parallel Exposure Light Source |
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作者姓名(中文) | 吳政翰; 邱柏凱; 蔣東堯; 陳建宇; 蕭健男; | 書刊名 | 真空科技 |
卷期 | 28:4 2015.12[民104.12] |
頁次 | 頁44-52 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 曝光機光源; 橢圓球面鏡; Exposure light source; Spherical mirror ellipse; Fly's eye lens; I line AR coating; |
語文 | 中文(Chinese) |