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題 名 | 佈植後退火之奈米粒子成核成長特性研究=Characterization of the Nucleation and Growth of Nanoparticles by Post-implantation Annealing |
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作 者 | 李昆達; 陳冠伃; 張宗龍; 許舜凱; | 書刊名 | International Journal of Science and Engineering |
卷 期 | 5:3 2015.09[民104.09] |
頁 次 | 頁15-22 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 佈植後退火; 奈米粒子; 相場理論; 成核成長動力學; Post-implantation annealing; Nanoparticles; Phase field model; Nucleation and growth kinetics; |
語 文 | 中文(Chinese) |