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來源資料
科儀新知
204 2015.09[民104.09]
頁6-23
電機工程
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特殊控制系統
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題 名
具光罩對準之高剛性XYθ三軸雷射直寫影像進給系統研發=Development of a Novel High-Speed and Controllable Position Platform with a Precision XYθ Stage
作 者
鍾健愷
;
蕭文澤
;
曾釋鋒
;
書刊名
科儀新知
卷 期
204 2015.09[民104.09]
頁 次
頁6-23
專 輯
儀器關鍵元組件技術專題
分類號
448.94
關鍵詞
XYθ三軸精密進給系統
;
人機介面
;
對位平臺
;
光罩對準
;
多軸精度量測
;
語 文
中文(Chinese)
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