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題名 | 超精密量測與致動系統=Ultra-High Precision Measurement and Positioning System |
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作 者 | 胡恩德; 鄭仲翔; 陳敬修; 王偉珉; 陳皇翰; | 書刊名 | 科儀新知 |
卷期 | 203 2015.06[民104.06] |
頁次 | 頁61-71 |
分類號 | 471.3 |
關鍵詞 | 掃描探針顯微術; 精密儀器; 雷射干涉儀; 光譜儀; 致動系統; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 中央研究院物理研究所耕耘掃描探針顯微術已近20年,其間產出高解析、高可靠度與穩定性之超精密奈米量測、致動核心技術。這些技術可針對不同應用,設計各種奈米級解析度之多軸線性、角度、旋轉量測與致動元件,應用於其他精密儀器系統之核心。本文將介紹奈米解析度之雷射干涉儀、皮米解析度之光譜儀與超精密摩擦驅動致動系統。 |
英文摘要 | Institute of Physics, Academia Sinica develops scanning probe microscopy for 2 decades, which generates ultra-high precision measurement and positioning techniques. Those techniques can be custom designed for multi-axes linear, angular, rotational measurement and actuation as a core of precision instruments. In this article, we will introduce spectrometer, laser interferometer, laser auto-collimator systems for precision measurements and nano-scale positioning systems for precision positioning. |
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