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題 名 | 半導體晶圓製造廠黃光區派工法則之研究=A Study of Dispatching Rule for Photolithography Area in Wafer Fabrication Factories |
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作 者 | 林於杏; 蔡志弘; 徐光宏; 李慶恩; | 書刊名 | 中華管理評論 |
卷 期 | 6:6 2003.12[民92.12] |
頁 次 | 頁98-112 |
分類號 | 484.51 |
關鍵詞 | 投料; 派工法則; 晶圓製造; Wafer releasing; Dispatching rule; Wafer fabrication; |
語 文 | 中文(Chinese) |