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題名 | 積層型可三維堆疊鰭式及超薄通道電晶體 |
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作者姓名(中文) | 楊智超; 黃文賢; 謝東穎; 謝嘉民; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷期 | 20:3=224 2014.03[民103.03] |
頁次 | 頁58-70 |
專輯 | 半導體與光電製程設備專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 積層型三維堆疊元件; 低熱預算; 可三維堆疊鰭式電晶體; 可三維堆疊超薄通道電晶體; Monolithic 3D device; Low thermal budget; 3D stackable FinFETs; 3D stackable UTB transistors; |
語文 | 中文(Chinese) |