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題 名 | 繞射光學元件--矽基液晶之雷射微加工=Diffractive Optical Elements--Application of LCOS for Laser Micromachining |
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作 者 | 陳園迪; 張光博; 蔡武融; 鄭中緯; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 371 2014.02[民103.02] |
頁 次 | 頁63-74 |
專 輯 | 積層製造與雷射應用技術專輯 |
分類號 | 472.17 |
關鍵詞 | 繞射光學元件; 飛秒雷射; 矽基液晶; Diffractive optical elements; Femtosecond laser; Liquid crystal silicon; |
語 文 | 中文(Chinese) |