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題名 | 高速線掃描之晶背瑕疵自動光學檢測系統=An AOI System for Chip Backside Defects Based on a High Rate Line Scanner |
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作者 | 陳銘福; 黃柏瑄; 周志忠; 翁睿謙; Chen, Ming-fu; Huang, Po-hsuan; Chou, Chih-chung; Weng, Rui-cian; |
期刊 | 科儀新知 |
出版日期 | 20130600 |
卷期 | 34:6=194 2013.06[民102.06] |
頁次 | 頁41-50 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 光學檢測系統; 晶背瑕疵; 高速線掃描; |