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來源資料
臺灣奈米會刊
35 2013.11[民102.11]
頁7-13
精密機械工藝
>
測定儀器
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題 名
靜電力補償式微力量測標準簡介=Introduction to Electrostatic Force Compensated Microforce Measurement Standard
作 者
陳生瑞
;
潘小晞
;
葉育姍
;
林以青
;
書刊名
臺灣奈米會刊
卷 期
35 2013.11[民102.11]
頁 次
頁7-13
專 輯
奈米量測與檢測
分類號
471.3
關鍵詞
靜電力補償式微力量測
;
力量量測
;
量測標準
;
單體撓性平臺
;
語 文
中文(Chinese)
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