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來源資料
潔淨科技
24 2009.06[民98.06]
頁15-21
土木工程;建築工程
>
建築設備
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題 名
半導體廠務噪音分析技術探討=Analysis on Noise Level in a Semiconductor Fab
作 者
林俊伯
;
賴膺仁
;
鄭安杰
;
江文旺
;
陳智隆
;
書刊名
潔淨科技
卷 期
24 2009.06[民98.06]
頁 次
頁15-21
分類號
441.6
關鍵詞
噪音頻譜分析
;
低頻噪音
;
低頻噪音源
;
語 文
中文(Chinese)
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