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題名 | 薄膜熱電偶感測器製作於石墨碳刷與磨耗特性研究 |
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作者 | 陳緯哲; 林昭文; | 書刊名 | 工程科技與教育學刊 |
卷期 | 9:2 2012.06[民101.06] |
頁次 | 頁215-222 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 薄膜熱電偶; 熱電動勢; 磨耗; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本研究利用微機電製程技術(MicroElectroMechanical System, MEMS):沉積、微影蝕刻技術製作熱電 偶感測器。藉由直流射頻濺鍍機沉積銅與鏮銅金屬,於石墨上製作薄膜熱電偶溫度感測器(Thin Film Thermocouples, TFTCs)。探討石墨碳刷與銅盤於低荷載0.5N、1.0N、3.0N 與高轉速1000rpm (v= 8.37 m/s) 條件下的摩擦係數、磨耗率以及表面摩擦溫度的變化。薄膜熱電偶熱電動勢(Thermoelectric power)在250 ℃時量測分別為52.3μV/℃、59.2μV/℃與58.2μV/℃。滑移接觸過程,TFTCs 針對真實接處面與閃點溫度量 測。實驗量測數據,於低負荷條件下的摩擦係數都達到0.2 以上;藉由電子顯微鏡(SEM)觀察滑移接觸後, 碳刷表面形貌與磨耗機制。 |
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