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題名 | 卷到卷雷射掃瞄設備技術探討=Roll to Roll Laser Patterning Technology |
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作者 | 蕭忠信; 林茂吉; 陳峻明; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 351 2012.06[民101.06] |
頁次 | 頁98-109 |
專輯 | 軟性電子製程設備技術專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 雷射圖案化; 掃描振鏡; 光路系統; 卷到卷; Laser patterning; Scanner; Optical system; Roll to roll; |
語文 | 中文(Chinese) |