查詢結果分析
來源資料
頁籤選單縮合
題名 | 次22奈米製程之金屬導線技術開發=Silver Metallization for Sub-22nm Technology Node Application |
---|---|
作者姓名(中文) | 陳炳茂; 蘇盈豪; 鍾朝安; | 書刊名 | 明新學報 |
卷期 | 38:1 2012.02[民101.02] |
頁次 | 頁1-9 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 金屬導線製程技術; 電鍍銀; 氮化鈦; 表面改質; 潤濕性; 接面電阻; 高溫穩定性; Silver metallization; Electroplating; Surface modification; Contact resistance; Thermal stability; |
語文 | 中文(Chinese) |