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題名 | 新型連續式射極形成法用於生產高效能結晶矽太陽能電池 |
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作者姓名(中文) | 賴一凡; 黃穩駿; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷期 | 18:3=200 2012.03[民101.03] |
頁次 | 頁98-104 |
專輯 | 半導體與光電製程設備專輯 |
分類號 | 468.1 |
關鍵詞 | 磷擴散與摻雜; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 對於結晶矽太陽能電池而言,射極(emitter)條件的選擇會對太陽能電池的特性有決定性的影響。對晶片表面上與射極接觸的電極而言,使用高擴散濃度(低片電阻)的射極可以降低射極與電極的接觸電阻,進而降低網印電極帶來的阻抗損耗,增加元件效率。然而過高的擴散濃度會使得晶片表面形成較厚的死層(dead layer),會大幅降低元件的藍光響應,造成元件效率降低。因此目前用來形成射極的單一擴散設備,都會受限於擴散濃度與接觸電阻彼此競爭的問題。 |
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