頁籤選單縮合
題名 | 平面顯示器產業有機尾氣處理之節能減碳技術 |
---|---|
作者姓名(中文) | 扶亞民; 邱榮義; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷期 | 17:12=197 2011.12[民100.12] |
頁次 | 頁74-85 |
專輯 | 半導體與光電廠務專輯 |
分類號 | 555.58 |
關鍵詞 | 揮發性有機物; 尾氣處理; 節能減碳; 平面顯示器; 沸石; 吸附; 熱氧化; 蓄熱式熱氧化爐; VOC; RTO; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 面顯示器產業於製程中使用相當大量之有機溶劑,例如於ARRAY/CELL/CF區thinner/stripper/coating等製程中用到大量有機溶劑,這些使用過的有機溶劑部份以廢液液態回收,部分形成有機蒸氣經由氣罩及排氣管收集,再由有機排氣系統排放,但不能任意排放,排放前需經過處理以達到環保法規的要求,台灣目前對光電業要求的揮發性有機物排放削減率是85%以上。在科學園區FPD光電廠的有機排氣量會隨製程世代而逐漸增大,一般而言,約在數萬至數十萬NCMH的排氣量,例如以TFT 7代廠而言,排氣量設計值約在200,000NCMH左右,8.5代線VOC排風量更大,一個廠可超過410,000NCMH。由於有機廢氣排氣量大濃度高,處理上目前仍以濃縮後熱氧化之方式做破壞性的處理,使用瓦斯或熱能加熱,由於處理風量大,耗能就相當可觀。近年來,節能減碳成為全球重視之課題,為響應政府提倡節能減碳政策,各公司亦皆以其為首要目標之一,因此在這方面廠商更是想出各項節能之手法,不遺餘力,不斷的改善系統,以求系統運轉最佳化及達到節能減碳之需求。 |
本系統之摘要資訊系依該期刊論文摘要之資訊為主。