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題名 | 適用於小尺寸元件電容量測之電荷式電容量測方法 |
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作者 | 陳光釗; 盧道政; 張馨文; 張耀文; 盧志遠; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷期 | 17:10=195 2011.10[民100.10] |
頁次 | 頁130-147 |
專輯 | 電子測試專輯 |
分類號 | 448.533 |
關鍵詞 | 電容量測; 電荷式電容量測方法; 金屬接線電容; 金氧半電晶體元件電容; 虛擬填充金屬; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 由於有高量測精準度以及其易於操作之特性,電荷式的電容量測方法在這幾年來受到很大的矚目。除了廣泛應用在後段製程金屬接線電容的量測上外,其應用也成功的拓展到會隨電壓變化的小尺寸金氧半電晶體元件電容。在本文中,我們將先藉由傳統的電荷式電容量測方法,來介紹電荷式電容量測的原理及操作,接下來,我們將介紹一種改良的新式電荷式電容量測方法,此一新的電荷式電容量測方法可完全避免由電荷注入現象所造成的誤差,而比傳統的電荷式電容量測方法有更高的量測精準度。藉由此電容量測方法,我們將可以直接監測在化學機械研磨製程中受虛擬填充金屬影響的金屬接線電容,除此之外,我們還將呈現數個小尺寸的金氧半電晶體閘極電容量測的例子及其應用。這個新的電容量測方法,將是未來元件工程師在小尺寸元件的電容量測及分析上一個不可缺少的工具。 |
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