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題名 | 奈米尺度細線路圖案化技術介紹(上)=Introduction of the Techniques for Nanoscale Patterning (Ⅰ) |
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作者 | 高依琳; 劉怡君; Kao, I. L.; Liu, Y. C.; |
期刊 | 工業材料 |
出版日期 | 20110900 |
卷期 | 297 2011.09[民100.09] |
頁次 | 頁96-104 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 奈米尺度; 奈米壓印; 定向自組裝; Nanoscale; Nanoimprint lithography; NIL; Directed self-assembly; DSA; |