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來源資料
工業材料
297 2011.09[民100.09]
頁96-104
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題 名
奈米尺度細線路圖案化技術介紹(上)=Introduction of the Techniques for Nanoscale Patterning (Ⅰ)
作 者
高依琳
;
劉怡君
;
書刊名
工業材料
卷 期
297 2011.09[民100.09]
頁 次
頁96-104
專 輯
奈米圖案化技術專題
分類號
448.552
關鍵詞
奈米尺度
;
奈米壓印
;
定向自組裝
;
Nanoscale
;
Nanoimprint lithography
;
NIL
;
Directed self-assembly
;
DSA
;
語 文
中文(Chinese)
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