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題 名 | 寶塔式微型三次元量測儀之系統與機電模組=The System and the Mechatronics of a Pagoda Type Micro-CMM |
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作 者 | 范光照; 王宏瑜; 葉俊寬; 林仲豪; | 書刊名 | 科儀新知 |
卷 期 | 32:6=182 2011.06[民100.06] |
頁 次 | 頁52-63 |
分類號 | 446.8401 |
關鍵詞 | 三次元量測儀; 寶塔式橋架結構; 機電模組; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 摘要: 本文介紹精密微型三次元量測儀的系統設計概念以及機電整合模組。其設計概念著重於下列準則:剛性佳、力與熱平衡、阿貝原理、量測架構和系統制震的需求。在這些準則之下,研製出一個創新的寶塔型結構,並經由最佳化分析證實此對稱性結構力平衡與熱平衡上的穩定性。具同軸配重、制震裝置的高精密主軸以及符合阿貝原理、幾何對稱的 XY 共平面平台也將在此篇論文中予以介紹。此微型三次元量測儀量測範圍為 X: 20 mm、Y: 20 mm、Z: 10 mm,以超音波馬達作為各軸具奈米等級的驅動裝置,並以解析度可達 1 nm 的光柵干涉儀作為位移感測器,使系統可同時具備長行程和奈米定位之需求。將接觸式探頭安裝於主軸上,系統即具備奈米等級量測能力並可應用於任何幾何外形的工件。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。