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題 名 | 利用電子束-物理氣相蒸鍍(EB-PVD)製程製備微/奈米結構組件之應用=Application of Micro/Nano Structured Components Fabrification Using EB-PVD Process |
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作 者 | 馬寧元; 高于迦; 卓廷彬; 李新中; | 書刊名 | 臺灣奈米會刊 |
卷 期 | 26 2011.09[民100.09] |
頁 次 | 頁10-20 |
專 輯 | 奈米機械 |
分類號 | 472.16 |
關鍵詞 | 鍍膜; 電子束-物理氣相蒸鍍; 熱蒸發; 反射性; 淨形組件; 透射; Electron beam-physical vapor deposition; Evaporation; Reflectivity; Net-shaped components; Transmissivity; |
語 文 | 中文(Chinese) |