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題 名 | 具有空氣倉隔離和溝槽爲1T-DRAM應用之新型TFT=A New TFT with Trenched Body and Airgap-insulated Structure for Capacitorless 1T-DRAM Application |
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作 者 | 陳鉦欣; 林吉聰; 張子豐; 黃奕泉; 林勃劦; 張又哲; | 書刊名 | 奈米通訊 |
卷 期 | 18:2 2011.06[民100.06] |
頁 次 | 頁8-13 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 薄膜電晶體; 單電晶體無電容式記憶體; Thin film transistor; TFT; One transistor dynamic random access memory; 1T-DRAM; |
語 文 | 中文(Chinese) |