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來源資料
機械工業
337 2011.04[民100.04]
頁94-106
機械工程
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題名
太陽能矽晶圓放電切割加工研究=The Research of Electrical Discharge Machining on Solar Silicon Wafer
作者
陳鳴吉
;
麥朝創
;
李坤穎
;
顏炳華
;
游博淮
;
期刊
機械工業
出版日期
20110400
卷期
337 2011.04[民100.04]
頁次
頁94-106
分類號
446.841
語文
chi
關鍵詞
線切割放電加工
;
太陽能電池
;
多晶矽
;
WEDM
;
Solar cell
;
Polycrystalline silicon
;
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