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題名 | Design and Analysis of Metal-oxide-semiconductor--Capacitor Microring Optical Modulator with Solid-phase-crystallization Poly-silicon Gate=具固相晶化多晶矽之MOS電容微環型光調變器設計與分析 |
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作者 | 石志聰; | 書刊名 | 光學工程 |
卷期 | 113 2011.04[民100.04] |
頁次 | 頁7-18 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 金屬氧化半導體電容; 矽光調變器; 自由載子色散效應; MOS-capacitor; Silicon optical modulator; Free-carrier dispersion; |
語文 | 英文(English) |