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來源資料
電子月刊
17:1=186 2011.01[民100.01]
頁109-129
電機工程
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電燈廠
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題 名
微機電麥克風的技術及市場發展概況
作 者
陳弘仁
;
邱冠勳
;
李國祥
;
許明莉
;
陳永達
;
廖顯根
;
呂如梅
;
書刊名
電子月刊
卷 期
17:1=186 2011.01[民100.01]
頁 次
頁109-129
專 輯
微奈米機電系統專輯
分類號
448.57
關鍵詞
微機電麥克風
;
矽基麥克風
;
振膜
;
背板
;
MEMS microphone
;
Silicon microphone
;
Membrane
;
Backplate
;
語 文
中文(Chinese)
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