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題 名 | 微機電電容式麥克風之靜態和動態的行為分析與其在陣列上的應用 |
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作 者 | 白明憲; 廖國志; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷 期 | 17:1=186 2011.01[民100.01] |
頁 次 | 頁91-107 |
專 輯 | 微奈米機電系統專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 電容式麥克風; 陣列; 指向性; 訊噪比; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 近年來隨著微機電系統技術的蓬勃發展,其為傳統微型麥克風構造設計方式亦帶來了革命性之改變。所謂「微機電系統」(以下簡稱MEMS)係指利用半導體製程或其它精密加工技術,同時整合包括電子、電機或機械等各種不同功能於一微型元件或裝置內。相較於以組裝方式形成的傳統駐極體電容式麥克風(以下簡稱ECM),MEMS麥克風不僅外型尺寸較小、耗電量較低,其亦具備較優異的耐熱、抗振及防止射頻干擾等性能。此外,由於該MEMS結構是以半導體矽基材料與製程作為基礎形成,可承受高達260℃以上的表面貼裝(Surface Mount Technology, SMT)作業高溫而不衰減性能,因此,相較於ECM者,其在應用上能提供更高的設計自由度和系統成本優勢。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。