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機械工程
270 2009.09[民98.09]
頁50-58
電機工程
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特殊控制系統
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題 名
真空電漿設備之電控系統介紹=Introduce the Electric System for Vacuum Plasma Equipment
作 者
李昇亮
;
書刊名
機械工程
卷 期
270 2009.09[民98.09]
頁 次
頁50-58
分類號
448.94
關鍵詞
真空
;
電漿
;
質流控制器
;
壓力自動控制器
;
Vacuum
;
Plasma
;
MFC
;
APC
;
語 文
中文(Chinese)
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