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題 名 | 雷射輔助低溫成長微晶矽基薄膜技術=Micro-crystal Si-based Thin Film Fabricated by Low Temperature Laser-assisted Deposition Technique |
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作 者 | 林昆蔚; 陳俊廷; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 335 2011.02[民100.02] |
頁 次 | 頁51-63 |
專 輯 | 短脈衝雷射應用技術專輯 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 雷射輔助; 微晶矽; 微拉曼系統; 增強式電漿化學氣相沉積; Laser-assisted; Micro-crystal Si; Micro-raman system; PECVD; |
語 文 | 中文(Chinese) |