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題 名 | LPCVD爐管中晶圓溫度分佈之模式建立=Modeling of Wafer Temperature Distribution in a LPCVD Furnace |
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作 者 | 黃毓珊; 王國彬; 陳俊瑜; 王子奇; | 書刊名 | 華岡工程學報 |
卷 期 | 26 2010.06[民99.06] |
頁 次 | 頁131-140 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 低壓化學氣相沈積; 二維穩態溫度預測模式; 形狀因子; LPCVD; Two-dimensional steady-state temperature prediction model; Configuration factor; |
語 文 | 中文(Chinese) |