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題 名 | 以溶膠凝膠法製備PZT壓電薄膜於噴墨技術之應用 |
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作 者 | 蔡立仁; 林哲宇; | 書刊名 | 工程科技與教育學刊 |
卷 期 | 6:3 2009.09[民98.09] |
頁 次 | 頁273-283 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 溶膠凝膠; 殘留極化電場; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本研究主以溶膠-凝膠法(sol-gel),製備鋯鈦酸鉛Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)壓電薄膜,此方法的優點包括:成本低、調整比例精準、易於製作大面積。所得試片以XRD作結晶相分析,利用SEM觀察薄膜表面,同時電滯曲線儀測其壓電性。 研究結果,550~650℃的高溫能獲得鈣鈦礦相結構。基板Pt/Ti/SiO2/Si在550℃、600℃退火,測量其鐵電性質分別可得最佳殘留極化電場Pr=8.124μC/cm²、Pr=13.348μC/cm² |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。