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題 名 | 晶圓切割製程的穩健設計--六標準差與田口實驗設計的應用 |
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作 者 | 林志良; 林谷鴻; | 書刊名 | 工程科技與教育學刊 |
卷 期 | 6:2 2009.06[民98.06] |
頁 次 | 頁213-225 |
分類號 | 446.895 |
關鍵詞 | 六標準差; 田口實驗計劃法; 穩健設計; 晶圓切割; DMAIC; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 六標準差的精神是利用統計品管方法改善產品的品質問題以減少不良產品的成本浪費。本文嘗試將六標準差的管理手法DMAIC導入製程改善流程中,依據有系統、邏輯性的方法針對個案公司的晶圓切割製程作深入的分析,在改善階段更使用田口博士所提的穩健設計觀念取代傳統的實驗計劃法,秉持快速與低成本的原則,獲得影響製程能力之關鍵因素及其最佳組合水準,並藉著完整的品質管制策略及作爲,掌握關鍵因素的投入,提昇其製程能力;最後建立關鍵品質特性的管控系統,確保產品品質的提高及避免不良品的成本浪費,進而達到六標準差的目標。本研究以個案公司單一產品爲例,將結合後的分析模式導入,使得原先品質特性-正崩值的製程水準爲0.96提升至1.36,並以統計檢定的手法,在95%的信心水準下,確認品質特性的平均值由原先的9.9056μm降至4.0952μm,成功的驗證此分析模式可提升其製程水準,並減少不良品的成本浪費。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。