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來源資料
真空科技
19:3 民95.12
頁26-30
電機工程
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電燈之特殊應用
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題 名
電子束灰階微影技術應用於次微米光學繞射元件之製作
作 者
殷宏林
;
胡一君
;
林暉雄
;
周曉宇
;
陳至信
;
書刊名
真空科技
卷 期
19:3 民95.12
頁 次
頁26-30
分類號
448.59
關鍵詞
電子束
;
灰階微影
;
光學繞射元件
;
虛擬鍵盤
;
語 文
中文(Chinese)
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