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來源資料
工程
82:5 2009.10[民98.10]
頁86-94
電機工程
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題名
脈衝寬度對雷射加工矽材料之特性研究
作者姓名(中文)
吳秉翰
;
鄭中緯
;
沈威志
;
林忠緯
;
陳政雄
;
書刊名
工程
卷期
82:5 2009.10[民98.10]
頁次
頁86-94
專輯
光電與能源製程設備市場與技術
分類號
448.57
關鍵詞
脈衝寬度
;
雷射劃切
;
雙溫模式
;
熱影響區
;
語文
中文(Chinese)
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