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題 名 | 薄膜量測標準=Thin Film Metrology and Standards |
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作 者 | 傅尉恩; | 書刊名 | 化工資訊與商情 |
卷 期 | 79 2010.01[民99.01] |
頁 次 | 頁60-67 |
專 輯 | 奈米量測技術專題 |
分類號 | 446.8401 |
關鍵詞 | 奈米計量; 薄膜厚度校正; 不確定度; 系統評估; Nanometrology; Thin film thickness calibration; Uncertainty; System evaluation; |
語 文 | 中文(Chinese) |