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題 名 | 三維原子探針分析技術簡介 |
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作 者 | 呂種財; 湯永源; 張茂男; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷 期 | 15:8=169 2009.08[民98.08] |
頁 次 | 頁106-112 |
專 輯 | 量測技術與設備專輯 |
分類號 | 471.713 |
關鍵詞 | 三維原子探針分析技術; 原子探針斷層攝影術; 3D atom probe; Atom probe tomography; Time of fly mass spectroscopy; Field ion microscopy; Focused ion beam; |
語 文 | 中文(Chinese) |