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題名 | 飛秒雷射應用於軟性基板之多晶ITO圖案研究=Patterning of a Polycrystalline ITO on Flexible Substrate with Femtosecond Laser |
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作 者 | 鄭中緯; 沈威志; 陳政雄; 李依如; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 315 2009.06[民98.06] |
頁次 | 頁30-38 |
專輯 | 平面顯示器製程設備技術專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 軟性電子; 飛秒雷射; 雷射結晶; 氧化銦錫; Flexible electronic; Femtosecond laser; Laser crystallization; ITO; |
語文 | 中文(Chinese) |