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| 題 名 | 微影蝕刻黃光室的製程照明設備=Environmental Lighting Demands of Photo-lithographical Processes in Yellow Rooms |
|---|---|
| 作 者 | 謝宏元; | 書刊名 | 工業材料 |
| 卷 期 | 269 2009.05[民98.05] |
| 頁 次 | 頁95-99 |
| 專 輯 | 平面顯示器設備/耗材技術專題 |
| 分類號 | 448.42 |
| 關鍵詞 | 黃光室; 微影蝕刻; 固態照明; 螢光粉轉換; Yellow room; Photolithography; Solid-state lighting; Phosphor converted; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |